| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 4197-2340SHJT0002/96 | 氧化爐-高溫氧化膜沉積直立式爐管 | 2臺 | 要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,采用先進成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動態(tài)品質(zhì),在操作過程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行組件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機運行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 | 無 |
| 4197-2340SHJT0002/96 | 氧化爐-高溫退火工藝直立式爐管 | 1臺 | 要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,采用先進成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動態(tài)品質(zhì),在操作過程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行組件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機運行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 | 無 |
| 4197-2340SHJT0002/96 | 氧化爐-氘氣退火工藝直立式爐管 | 1臺 | 要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,采用先進成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動態(tài)品質(zhì),在操作過程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行組件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機運行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 | 無 |
| 4197-2340SHJT0002/96 | 晶圓清洗機 | 1臺 | 要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,采用先進成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動態(tài)品質(zhì),在操作過程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行組件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機運行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 | 無 |
| 4197-2340SHJT0002/96 | 接觸孔刻蝕機工藝腔體 | 2個腔 | 要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,采用先進成熟技術(shù),保證系統(tǒng)具有良好的動態(tài)品質(zhì),在操作過程中操作者的視線要好。所選控制系統(tǒng)執(zhí)行組件精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快。設(shè)備使用、操作、維修方便,造型美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,整機運行穩(wěn)定可靠,售后服務(wù)優(yōu)良。 | 無 |
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